技术编号:12591769
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于角加速度传感器测量领域,具体涉及一种分子电子型角加速度计动电转换单元。背景技术分子电子型角加速度计的敏感组件是整个传感器的核心部件,其动电转换单元包括工作液体、电极和转换器,其作用是敏感测量轴方向的角加速度信号并转换成电信号输出。当进行小型分子电子型角加速度计的设计时,敏感组件的体积也随之减小,工作液体质量、液体通道结构等均发生改变,从而使得敏感到的角加速度信号动电转换为输出电信号更加微弱,为确保小型分子电子型角加速度计的输出特性,需要增大小型分子电子型角加速度计的输出信号。发明内容本...
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