技术编号：12593617
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅光子集成领域，尤其涉及一种硅基调制器。背景技术微电子技术发展起来后，一直按着摩尔定律预测的那样，“半导体芯片的集成度每18个月增长一倍，而价格则降低一半。”但是，现在以硅为基础的微电子技术已经越来越接近物理极限，很难继续遵循摩尔定律来发展。同时，在光通信领域，一直受到光器件高功耗，高成本，大体积等的困扰。硅光子技术的应运而生，可以同时解决微电子领域和光通信领域的诸多难题。硅光子技术就是以半导体的成熟工艺即生产电子器件，又生产光子器件。但是，要实现硅光子技术的产业化还存在很多要可否的困...
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