大行程光栅刻划机及其刀具总成的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12593714

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本发明涉及光栅刻划领域,特别是涉及一种大行程光栅刻划机的刀具总成。此外,本发明还涉及一种包括上述刀具总成的大行程光栅刻划机。背景技术大行程光栅刻划机是用于制作大面积刻划光栅的精密机械装置。由步进工作台承载镀有金属膜层的光栅基底实现步进方向运动,与步进方向正交运动的刻刀在金属膜层上挤压形成光栅槽形,即刻划运动。步进工作台的运动行程决定了光栅刻划机垂直光栅刻槽方向能够制作的最大光栅尺寸,刻刀的运动行程决定了光栅刻划机沿光栅刻槽方向能够制作的最大光栅尺寸,制成了大面积光栅。但是有时需要制作小面积的光栅...
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