技术编号：12593774
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及大功率精确温度控制领域，尤其涉及一种冷热一体式加热盘。背景技术冷热一体式加热盘是微电子行业制造投影光刻机的重要组成部分。国内生产的加热盘只能单纯地实现加热功能，无法正常完成冷却过程，达不到市场上应用的标准。因此，中国投影光刻机厂家对加热盘的使用几乎全部依赖进口，生产周期长，价格高,对厂家带来一定的经济负担。发明内容为了解决现有技术中的问题，本发明的目的是提供一种在短时间内快速加热和快速降温的一体式加热盘。本发明的技术方案：冷热一体式加热盘，其特征在于，包括处于上平面的加热盘体和处于下平...
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