技术编号：12593820
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS(微机电系统)类型的反射器(reflector)。具体地，本发明涉及包含压电致动器的谐振双轴线MEMS反射器。此外，本发明涉及包含谐振双轴线MEMS反射器的MEMS投影系统。背景技术如已知的，目前许多MEMS器件都是可用的。特别是已知其中包含了由反射镜形成的活动元件的所谓的MEMS反射器。通常，MEMS反射器被设计成接收光束并且被设计成经由其自身的反射镜改变其传播方向。典型地，光束的传播方向以周期性或准周期性的方式被改变，以使用所反射的光束执行对一部分空间的扫描。更具体地，更熟...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。