技术编号：12598877
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及发出紫外线的高压水银灯，特别涉及电弧长度较短的短弧型放电灯。背景技术高压水银灯中，电弧长度较短的构造的灯被称作短弧型放电灯。短弧型放电灯能够辐射高亮度的光，因此被用于广泛的领域。特别地，中心发光波长为365nm的i线灯和436nm的g线灯被用作半导体、液晶，印刷基板等的制造工序中的曝光装置用光源。在曝光装置用光源中，短弧型放电灯被装入光学系统来使用，成为缩短了电极间距离的点光源。在短弧型放电灯中封入氙Xe等的稀有气体或水银，以得到规定的分光特性现有技术文献专利文献【专利文献1】日本特开...
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