技术编号：12598943
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种下电极组件及半导体加工设备。背景技术图形化蓝宝石衬底(PatternedSapphireSubstrates，以下简称PSS)是目前制作LED芯片普遍应用的一种衬底材料，其是在蓝宝石衬底上通过刻蚀工艺制作出所需的微结构图形。为了应对日益增加的市场需求，通常利用托盘同时承载多个蓝宝石基片，然后通过机械手将装有蓝宝石基片的托盘传入工艺腔室，并放置在下电极组件上。该下电极组件不仅作为托盘的载体，同时为电感耦合提供了射频能量的馈入，使射频能量形成有效回路。图1为...
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