用于生成等离子体和使电子束指向靶的设备的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12603904

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本发明涉及用于生成等离子体和使电子束指向靶的设备,以及所述设备的应用。具体而言,提供了用于在支撑物上涂布一层材料的一种装置和方法以及用于焊接的一种装置和方法。背景技术存在被设计用来担当电子的源和等离子体的源的各种设备。一些这种设备使用由强电场或者加热管线的热发射引起的电子发射(这些源可被认定为是“场发射”或者“热发射”类型的)。电子束的生成和传输经常在具有极高真空的环境中发生。在这种情况下,电子不与残余气体的原子撞击并且具有极窄的能谱。然而,束的密度必须被保持相对低,这是因为空间放电效应必须低到...
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