一种机械手臂的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12607545

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本发明涉及显示装置制备技术领域,特别涉及一种机械手臂。背景技术TFT-LCD产品在制备过程中,需要进行涂布、曝光、显影、烘烤、对盒、刻蚀等工序,在进行这些制备工序过程中需要大量使用机械手臂传送基板。在基板的传送过程中,机械手臂利用其手部的吸附孔将基板进行吸附固定,基板接触吸附孔的区域往往会出现严重的吸盘条纹(Mura)。现有的机械手臂,其手部吸附孔的位置分布是固定的,由于制备不同显示面板的基板,其显示面板区的分布存在很大差异,因此,对于显示面板区的分布与机械手臂的手部吸附孔分布不匹配的基板,该机...
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