抗单粒子翻转的加固SRAM电路的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12609587

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本发明涉及电子元器件行业存储器技术领域,尤其涉及一种抗单粒子翻转的加固SRAM电路。背景技术单粒子效应是指高能带电粒子在穿过微电子器件的灵敏区时,沉积能量,产生足够数量的电荷,这些电荷被器件电极收集后,造成器件逻辑状态的非正常改变或器件损坏,它是一种随机效应。除了空间高能粒子以外,各种核辐射、电磁辐射环境也是产生单粒子效应的主要原因。单粒子翻转是辐照环境下集成电路最常见的一种单粒子效应,它会导致存储单元中数据错误。半导体存储器分为动态随机存储器(DRAM)和非挥发性存储器和静态随即存储器(SRA...
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