光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12616744

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本发明属于半导体激光器技术领域,涉及一种光栅辅助的基于TM模式的微柱腔面发射激光器。背景技术现代信息技术的高速发展推动着光电子器件向着微型化、高密度集成、低功耗的方向发展。长波长面发射激光器广泛应用在光通信和局域网中的光源,其在宽带宽、高调制速率、小体积、高密度集成、高光交互容量以及低功耗方面面临巨大提升需求。微柱或微环腔具有高品质因子的回音壁模式(WhisperingGalleryMode,WGM),因为WGM是通过光场在微腔圆弧的外边缘的全反射来实现光场的强限制的,所以WGM模式构成的激光器...
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