技术编号：12624330
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属薄层精细化图案的制作系统和方法，具体涉及一种脉冲激光诱导的向前转移制备图案化金属薄层的系统和方法，通过脉冲激光诱导向前转移预先制备好的金属薄层，将该金属薄层部分的从初始基片转移到接收基片上，从而实现亚微米结构的精细化图案，属于激光应用及印刷电子技术领域。背景技术目前，在精密印刷领域主要采用LIGA工艺(即光刻、电铸和压印)以及喷墨打印技术制备图案化的功能器件。对于前者而言，需要利用掩膜版来制备微纳米级的精细结构，同时，掩模版表面结构会随着压印次数增多而下降，从而降低其使用寿命；...
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