技术编号:12636264
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及显示器制备技术领域,特别涉及一种蒸镀设备。背景技术目前的有机电激光显示(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)在制备时,一般采用真空蒸镀技术形成膜层,即利用蒸镀机,在真空环境下,升温加热材料,使材料熔化挥发或者升华,在玻璃基板上沉积一层层有机材料,形成OLED器件。在蒸镀有机材料时需要控制蒸镀速度,以控制形成的蒸镀层的厚度,在点源式蒸镀腔体中,点源的加热丝和坩埚之间存在一定的缝隙,在对有机材料的速率进行控制时,遮挡板需要往复摆动,以防止蒸发材料蒸镀到玻璃基...
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