技术编号:12636286
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜机设备技术领域,特别是一种预抽阀通真空室口内嵌套金属管。背景技术光学薄膜技术的实现是依靠光学真空镀膜设备来实现,真空镀膜设备抽真空系统通常都是由机械泵和扩散泵及各抽气阀门管道组成,预抽阀和低抽阀都是和机械泵一起对真空室抽低真空作用,预抽阀作用是对真空室进行慢抽,防止真空大抽时产生的空气旋流,旋流带动空气中灰尘最终会粘在镜片表面影响光学镜片外观。传统真空镀膜设备在产品镀膜后镜片表面依然有很多细点,通过对产品外观的细致分析,发现细点是在预抽阀工作中产生,经过对设备结构详细考察,...
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