技术编号:12636699
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于玻璃纤维技术领域,尤其涉及一种高强度高模量低介电常数的玻璃纤维。技术背景随着超大规模集成电路(ULSI)的发展,器件集成度的提高,元件的尺寸进一步缩小,使得导电电阻R和电容C产生的RC互联延迟会有所上升,这就限制了器件的高速性能,而且增加能耗。为了减低阻抗延时及功率损耗,除了采用低电阻率金属代替铝外,重要的是降低介电层带来的寄生电容C。电容C与介电常数ε成正比。因此,在集成电路(ULSI)中采用低介电常数材料可以直接从工艺上减少互联延迟,从而满足集成电路发展的需要。玻璃纤维作为集成电路...
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