技术编号:12643155
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型的实现方式和实施例涉及集成电路,更具体地涉及防止集成电路的互连部分(通常称为字首组合词BEOL(后端制程))内的线间多孔电介质过早击穿的保护。背景技术在传统方式中,集成电路的互连部分包括至少一个金属化层级,并且通常包括若干金属化层级,每个金属化层级包括导线,例如,诸如铜线的金属线,使得集成电路的各个部件可以彼此互连和/或互连至集成电路的输入-输出。为了补充这个互连,根据本领域的技术人员通常使用的术语,该互连部分还通常包括一个或多个过孔层级,过孔层级位于金属化层级之间并且使得可以将某些金...
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