技术编号:12646399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种石墨烯的生长设备,尤其是一种卷式石墨烯连续生长设备。背景技术众所周知的:石墨烯虽然只有一个碳原子层厚,但由于其自身结构特性使其表现出诸多世界之最,如最薄、最轻、最坚韧、电阻率最小等,石墨烯被称为材料界的“黑金”,21世纪“新材料之王”。石墨烯薄膜的规模化制备,经过近几年的广泛研究,化学气相沉积法是规模化制备石墨烯薄膜最有前景的方法之一。CVD法制备高质量的石墨烯薄膜是在1000度左右的真空条件下将碳源加热分解成活性碳基团,然后Cu、Ni等过渡金属衬底上进一步分解生成石墨烯。然而,快...
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