技术编号：12646720
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体薄膜外延生长设备，特别是一种用于半导体薄膜外延生长的样品托盘，属于半导体外延生长技术领域。背景技术半导体薄膜材料是一种应用广泛的半导体材料，它支撑着整个半导体电子产品的水平和发展，比如III-V族化合物特别适用于生长光电器件。目前大多数半导体薄膜材料都由MOCVD、HVPE、PECVD、ALD、MBE等方法制备，其中MOCVD具有生长效率较高、控制精度好、成本相对较低等优势，是当前产业上最为广泛采用的方法，目前通常应用于III-V化合物材料的生长。样品托盘是材料生长设备中用于...
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