技术编号：12652297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于真空阀的闭合元件以及具有阀盘和紧固至阀盘的横梁的这种阀，以及涉及用于生产阀盘和横梁之间的连接的方法，以及涉及借助所述方法生产的产品。背景技术一般来讲，用于流动路径的基本气密性闭合的真空阀的不同实施例公知于现有技术，该流动路径运行穿过形成在阀壳体中的开口。尤其在发生于受保护的可能不存在污染微粒的环境的IC以及半导体制造领域中使用真空栅阀。例如，在用于半导体晶片或者液晶基板的生产线中，高度敏感的半导体元件或者液晶元件顺序运行穿过若干处理室，在若干处理室的每个中，置于处理室内部的半导体元...
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