技术编号：12652472
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于压电精密致动仪器领域，具体是一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构。背景技术随着微电子技术，宇航，生物工程等学科的迅速发展，微定位系统在电子，光学，机械制造等技术领域得到了越来越广泛的应用。所以微定位技术的研究对精密制造和和光学显示等领域的发展有较好的促进作用，微定位平台是由压电陶瓷驱动，由于压电陶瓷的高精度，高分辨率，响应快等优点，使得微定位平台可以应用在各种精密领域。压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、结构简单、发热少、体积小、刚度高、响应速度快、不收磁场干扰、无磨损、不许润滑等优点被...
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