技术编号：12655609
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超声表面波技术无损检测领域。背景技术残余应力问题一直受到人们的关注，特别是近些年随着对产品性能要求的提高以及开发新功能需求的增大，残余应力的研究和检测在微电子和材料领域得到越来越多的重视。超声表面波方法测量玻璃表面残余应力的原理是：超声表面波在玻璃表面传播的波速与玻璃的密度、泊松比、弹性常数、残余应力等有关。将分别由理论模型和实验信号处理获得的速度频率曲线(选取不发生频散稳定的部分)进行匹配就可以测出薄膜样片的参数。本发明基于此提供一种无损表征玻璃表表面残余应力的方法，即：基于声弹性理...
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