技术编号：12658012
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学微加速度传感器技术领域，涉及了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。背景技术飞行器的惯性导航，电磁炮发射，爆炸侵彻等领域，不仅对加速度计的测量灵敏度和精度有一定的要求，并且对抗大冲击的性能也提出了很高的要求。同时，为了满足现有先进装备和战略武器装备的小型化、集成化需求，设计制作高性能的微型加速度计也成为了现阶段加速度计的研究重点之一。目前已经有了很多具有高测量精度的加速度计，如冷原子干涉加速度计[Canuel,B.,etal.,Six-AxisInertialSensorUsi...
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