技术编号:12658443
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多环境下片上系统的压电测试装置与测试方法。背景技术现有的压电测试装置使用性能单一,样品台尺寸固定,恒温或温度连续变化下的样品特性测试问题得不到有效解决,气体单一,达不到多用的用途与测试效果。发明内容本发明的目的是提供一种多环境下片上系统的压电测试装置,用以解决上述问题,应用范围广,使用方便。上述的目的通过以下的技术方案实现:一种多环境下片上系统的压电测试装置,气管Ⅰ14连通气管Ⅱ15与气管Ⅲ16,所述的气管Ⅱ15与气管Ⅲ16之间设置阀门Ⅰ3,所述的气管Ⅱ15与气管Ⅲ16插入容器瓶2...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。