技术编号：12659617
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于空间光学系统先进制造技术领域，涉及一种提高大口径菲涅耳波带片衍射效率的方法。背景技术根据制作工艺不同，衍射元件可分为振幅型和位相型两类。振幅型衍射元件的衍射效率很低，仅有10％左右。而位相型衍射元件的衍射效率能达到40％以上，可克服振幅型衍射元件衍射效率较低的问题，因而较振幅型衍射元件具有更大的应用前景。为进一步提高衍射效率，可把2台阶光栅结构制作成多台阶光栅形式。理论分析表明，台阶数越多，光栅理论衍射效率越高，如四台阶的理论衍射效率可达到81％，八台阶可达到95％。但是随着台阶数增多...
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