技术编号：12660797
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本专利涉及电光调制器件的技术领域，更具体地说是一种用阵列电极进行光束偏转的铌酸锂波导及制作方法。背景技术在超高功率激光驱动器性能里，在靶面上得到匀滑光束极其重要，否则光斑能量不均匀将导致激光在放大过程中某一局部能量过高，造成光学元件的激光损伤，使点火的激光系统无法正常工作。目前已有许多方法被提出用于实现光模场偏转和光束匀滑，如光谱色散匀滑（SSD）技术实现光束匀滑等。然而市面上利用这些方法的器件一般需要较高的驱动电压，否则不能对高功率激光器进行高速调制，因此需要寻求在电光光束偏转上的突破。光波导...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。