技术编号：12678240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对工件进行平面磨削的工件的平面磨削方法和平面磨床。背景技术在具有杯型的砂轮的平面磨床中，在磨削用于半导体元件的制造的硅晶片等的硬脆材料的工件时，在监视砂轮轴驱动电动机的负荷电流的同时，以规定的切入速度使砂轮轴的前端的砂轮进行切削，进行旋转台上的工件的横向进给磨削，在因砂轮的孔眼的堵塞使砂轮轴驱动电动机的负荷电流超过规定阈值时，在使砂轮退避、中断磨削后，再次使砂轮进行切削，与工件接触，由此促进砂轮的自动磨锐作用(专利文献1)。已有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2006—35406号...
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