技术编号：12680087
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件制造技术领域，特别涉及一种应用于可重构环形天线的GaAs固态等离子pin二极管制备方法。背景技术天线的优劣对无线通信系统的性能有至关重要的影响。环形天线的特性使得其在便携式通信设备上有较为广泛的应用，而可重构天线，尤其是频率可重构天线，因其能工作在多个不同的频段下，应用范围得到了极大的扩展，受到研究人员的广泛关注。目前，常见的等离子可重构天线的pin二极管采用的材料均为体硅材料，此材料存在本征区载流子迁移率较低问题，影响pin二极管本征区载流子浓度，进而影响其固态等离子体浓度...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。