技术编号:12686105
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及催化剂活化技术领域,具体而言,涉及一种制备三氯氢硅的树脂催化剂的活化方法。背景技术多晶硅生产工艺主要以三氯氢硅为原料,生产过程中产生的高沸副产物氯硅烷,其中氯硅烷中主要包括四氯化硅、二氯二氢硅和少量的杂质BCl3,目前将多晶硅生产中四氯化硅和二氯二氢硅在催化剂的作用下转化为多晶硅生产的中间原料三氯氢硅,有效处理四氯化硅和二氯二氢硅,提高了硅元素的利用率,降低了生产成本。由于BCl3的存在降低了催化剂的活性,从而影响制备三氯氢硅的稳定性和转化率。现有技术中恢复催化剂活性的方法,一般采用直...
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