技术编号：12689573
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及马达用压电驱动装置及其制造方法、马达、机器人以及泵。背景技术利用压电元件使振动体振动从而驱动被驱动体的压电致动器(马达用压电驱动装置)由于不需要磁铁、线圈而被利用于各种领域(例如参照专利文献1)。在这样的压电驱动装置中，通常利用具备块状的压电体的压电元件(块压电元件)(例如参照专利文献2)。另一方面，作为压电元件，已知有具备薄膜状的压电体的元件(薄膜压电元件)。薄膜压电元件主要利用于在喷墨打印机的头部进行墨的射出。专利文献1：日本特开2004－320979号公报专利文献2：日本特开20...
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