技术编号:12689579
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于精密机械驱动领域。应用于微型机器人驱动、微小型机械等方面。背景技术近年来,随着微纳米技术的迅猛发展,在生物医学工程、精密机械、机器人、计算机、自动控制、精密测量、精密器件微制造、超精密加工等技术领域对微小型机械的驱动技术的需求日益增多。传统精密驱动主要采用机械式,如精密丝杠副及滚动滑动导轨、精密螺旋楔块机构等,但由于存在间隙、摩擦、爬行等问题,其精度很难满足要求,在这种条件下发展出许多新型的驱动方式,例如静电吸引式、电磁式、磁致伸缩式、形状记忆合金式以及压电式等。压电驱动的工作原理主要...
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