技术编号：12690370
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于液体脱泡技术领域，具体涉及一种涂布液管路以及涂布装置。背景技术在制造显示面板的过程中，很多结构(例如薄膜晶体管、像素电极等)要通过涂布工艺制造，而涂布工艺采用的涂布液(例如聚酰亚胺)很容易出现气泡，从而导致涂布设备损坏、产品品质较差等问题。现有技术中，去除涂布液中的气泡的方法主要有以下两种，一种是对涂布喷头进行清洗，使气泡随着涂布液排出；另一种是在储存涂布液的腔室中接上真空管，使其成为一个真空腔室，以此除去涂布液中的气泡。但现有技术中至少存在如下问题：对涂布喷头进行清洗只能去除涂布喷头...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。