技术编号:12696043
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及运动平台技术领域,尤其涉及一种用于OLED检测设备的运动平台。背景技术检测设备运动平台属于大行程、高精密平台,该系列平台是集精密机械、高精密测量、运动控制等多项技术于一体的复杂系统,运动平台可将一个大面积的待检测物分解为多个视场累加检测,通过控制运动台对OLED面板完成大面积的检测,平台的定位精度、平面度误差以及运行的匀速性决定了设备的检测精度,步进及运行速度决定设备的产率。现有技术采用的是一种XY方向均采用机械导轨加永磁直线电机的驱动方式,Y向两套驱动装置安装于大理石基座两侧,X...
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