技术编号:12698581
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及掩膜版技术领域,尤其涉及一种蒸镀掩膜版、其制作方法、电磁蒸镀装置及蒸镀方法。背景技术目前,比较成熟的工艺是使用蒸镀方法制作OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有机发光二极管)显示产品。在电磁蒸镀工艺中,蒸镀掩膜版是非常重要的设备部件。由于大尺寸OLED显示产品越来越多,随着基板尺寸的增加,蒸镀掩膜版尺寸也会随之增加,蒸镀掩膜版的主体厚度也需要随之增加,而由于重力的作用,在蒸镀掩膜版的中间位置下垂比较多,基板和蒸镀掩膜版的间隙变大,在蒸镀过程中蒸镀材料容易在间...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。