技术编号:12698739
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学气相沉积金刚石图层领域,具体涉及金刚石薄膜加工领域,尤其涉及一种用于沉积金刚石薄膜的热丝承载架以及用于在铣刀上加工金刚石薄膜的金刚石薄膜沉积设备。背景技术热丝气相沉积法制备金刚石薄膜的基本原理如下:将具有金刚石分子结构的碳源(如甲烷、丙酮等)和氢气的混合气体通过金属热丝,然后通过对金属热丝施加电压与电流从而使金属热丝发热来分解混合气体,获得所需的各种碳氢基团。具体的,该混合气体在由金属热丝形成的高温范围内分解出甲基和氢原子,并在一定的腔内压力下,大量的甲基与温度合适的衬底表面发生化...
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