技术编号:12699164
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石墨烯制备技术领域,具体而言,涉及一种双光束快速制备石墨烯图形的方法及装置。背景技术石墨烯是一种由碳原子以sp2杂化方式形成蜂窝状结构的二维材料,厚度仅为0.335nm。石墨烯具有优异的光学、电学、力学及物理学特性,是目前最薄但最坚硬的纳米材料,其电子能带、物理和化学特性易于调控,在微电子、光电子、自旋电子学、微纳传感器、能源、机械等领域具有良好的应用前景,是下一代微纳光机电器件的核心材料。所谓的石墨烯图形(GraphenePatterns)是的是完整的石墨烯薄膜经图形化后得到的具有特...
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