技术编号:12711408
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械陀螺仪的闭环驱动电路,尤其是一种防电学振荡的微机械陀螺仪闭环驱动电路。背景技术微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。微机械陀螺仪是一种重要的惯性MEMS器件。典型的微机械陀螺仪由传感器件和接口电路两部分构成,其工作原理是基于哥氏力(CoriolisForce)效应。以谐振式电容型微机械陀螺仪为例,如图1所示...
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