一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法与流程技术资料下载

技术编号:12724779

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本发明属于光电器件技术领域,涉及一种电极引线单元、真空光电器件及其制作方法。背景技术真空光电器件由于其优异的性能,如高灵敏度、快时间响应、大有效面积、低暗电流以及优良的环境适应性等,在高能物理、天文物理、医疗仪器、激光雷达、微光夜视、环境监测和等离子体诊断等多个领域有重要的应用,是光电探测器件的一个重要分支。真空光电器件主要由入射窗、光电阴极、电子光学系统、电子倍增器、阳极组成。其中光电阴极附着于入射窗上,用于将入射的光信号转化为电信号;电子光学系统主要实现对电子的加速、聚焦和偏转等功能;电子倍...
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