技术编号:12724789
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种专门用于制造或处理固体器件的设备,特别是一种承载装置及离子注入设备。背景技术离子注入技术是近30年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性技术。离子注入的基本原理是:用能量为100keV量级的离子束入射到材料中去,离子束与材料中的原子或分子将发生一系列物理的和化学的相互作用,入射离子逐渐损失能量,最后停留在材料中,并引起材料表面成分、结构和性能发生变化,从而优化材料表面性能或获得某些新的优异性能。在离子注入(Implant)过程中,玻璃基板首先会被水平放置于基板承载装置的承载...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。