技术编号：12724801
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及脉冲射频等离子体领域，尤其涉及一种脉冲射频等离子体的阻抗匹配方法和装置。背景技术脉冲射频等离子体的射频功率存在高、低两种输出功率；与此对应，等离子体的阻抗也存在高、低两种状态的阻抗。在调频匹配等离子体技术中，需要两个不同的匹配射频频率来匹配等离子体的高低两种状态的阻抗。如此就要求自动调频阻抗匹配技术需要在脉冲射频功率的高功率和低功率状态下分别搜寻到相应的匹配频率。然而，由于调频匹配算法及采样速率的限制，自动调频技术需要在50-100μs左右的时间才能搜寻到匹配频率。针对脉冲射频功率来说...
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