技术编号:12724977
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法本申请是申请日为2011年2月17日,申请号为201180009815.0,发明名称为“搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法”的专利申请的分案申请。技术领域本发明是关于搬送装置、搬送方法、曝光装置、以及元件制造方法。本申请案,是根据2010年2月17日提申的美国暂时申请第61/305,355号、及61/305,439号主张优先权,并将其内容援用于此。背景技术在平面面板显示器等电子元件的工艺中,是使用曝光装置或检查装置等大型基板的处理装置。在...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。