技术编号:12725174
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制作领域技术,特别涉及一种气敏层为SnO2的CMOS气体传感器的形成方法。背景技术气体传感器是一种将气体中特定的成分通过某种原理检测出来,并且把检测出来的某种信号转换成适当的电学信号的器件。随着人类对环保、污染及公共安全等问题的日益重视,以及人们对于生活水平的要求的不断提高,气体传感器在工业、民用和环境监测三大主要领域内取得了广泛的应用。根据气体传感器检测气体的原理的不同,气体传感器主要包括催化燃烧式、电化学式、热导式、红外吸收式和半导体式气体传感器等。其中,半导体式气体传感器包...
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