一种光电探测器阵列的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12725236

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本发明涉及光电技术领域,更具体地,涉及一种光电探测器阵列。背景技术目前,随着大容量光纤通信系统和光载无线链路及相控阵雷达等微波光子应用的迅猛发展,模拟光纤链路对于能够同时满足高速,大功率的光电探测器的需求也与日俱增。此外,高饱和光电探测器也可以简化光通信链路中接收机的设计复杂度,降低或去除接收机对阻抗匹配的低噪声电放大器的需求。为了应对这些需求,近几年几种高速、大功率的光电探测器被提出并得到了大量的关注。但单个光电探测器在处理较大的光信号时仍然存在吸收层厚度的制约问题,较宽的吸收层厚度可以提高光...
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