一种热处理用衬底、衬底的制备方法和应用有该衬底的热处理装置与流程技术资料下载

技术编号:12725308

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本发明涉及材料热处理技术领域,尤其涉及高通量微区快速热处理技术领域,具体涉及一种热处理用的衬底,本发明还涉及该衬底的制备方法,以及一种应用有该衬底的热处理装置。背景技术热处理是将材料通过加热、保温和冷却的手段,以获得预期组织和性能的一种材料加工工艺,它可以对材料的缺陷、应力、结构、形貌等都产生重要影响,具有广泛的应用。现有热处理工艺多采用各式炉体结构,如管式炉、箱式炉、马弗炉等,该类装备具有加热面积大的特点,适用于大面积材料样品的热处理。然而材料研究过程中往往需要进行多材料样品、多参数的实验,这...
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