技术编号:12725389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术,尤指一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、显示装置。背景技术随着显示器件的越发成熟,氧化物有源层的需求越来越高。氧化物半导体作为有源层材料,相比传统的非晶硅(a-Si)材料具有载流子迁移率高、制备温度低、大面积均匀性优良、光学透过率高等优势,这些优势也决定了氧化物薄膜晶体管(OxideTFT)适用于制备高分辨率的薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有源矩阵有机发光二极体面板(AM-OLED)、柔性显示、透明显示等新型显示器件。发明内容为了解决上述技术问题,本发明至少...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。