高击穿电压肖特基二极管及制作方法与流程技术资料下载

技术编号:12725394

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本发明属于微电子技术领域,特别涉及一种高击穿电压肖特基二极管,可用于高频电路。背景技术肖特基二极管,又称为肖特基势垒二极管,其原理是利用金属与半导体接触形成的金属-半导体结。肖特基二极管的优点主要包括以下两个方面:1)由于肖特基势垒高度低于PN结势垒高度,所以其正向导通电压和正向压降都比PN结二极管低;2)由于肖特基二极管是一种多数载流子导电器件,反向恢复电荷非常少,因而不存在少数载流子寿命和反向恢复问题,故开关速度非常快,开关损耗也特别小,尤其适合于高频应用。但是,由于肖特基二极管的电场主要集...
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