技术编号：12725707
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及工业测量技术领域，具体涉及一种超精密测量平台。背景技术随着超精密加工技术和工艺的发展，超精密测量技术也不断发展，没有超精密的测量技术，超精密加工也无从谈起。换言之，超精密测量技术是超精密加工技术的前提和基础。磁悬浮技术作为一种新兴的技术，在工业领域中有着广泛的应用，在超精密加工和制造领域中也不断的应用，例如超精密磁悬浮主轴、超精密磁悬浮转台、超精密磁悬浮滑台等；气浮在超精密加工中已广泛应用并取得一定成果，例如超精密气浮主轴、超精密气浮转台、超精密气浮导轨等均已在国内外高精密机床上应用。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。