技术编号：12725732
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域，特别是涉及一种基于量程拓展的谐振式应变结构、应变传感器及制备方法。背景技术应变传感器又称应变计(straingauge)是一种常用的传感器，它利用了弹性材料(金属，合金，半导体或者金属陶瓷)的压阻特性来检测被测结构的正应变与剪切应变，它广泛应用于结构健康监测中，涵盖的领域有土木工程，机械，航天，医疗以及可穿戴系统。谐振式应变传感器通过测量应变引起谐振结构的共振频率改变来测量应变值，具有稳定性高，温漂小，准数字化输出，抗干扰能力强等特点，是一类高性能的应变传感器。硅基谐振式应...
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