技术编号:12725843
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光应用及精密测量技术领域,尤其涉及一种基于激光的MEMS扫描振镜和位置检测器的轮廓扫描测量系统,可以实现精密轮廓扫描测量的功能。背景技术激光由于具有单色性好、方向性强、亮度高等特点已广泛应用于社会生活的各个方面,而轮廓扫描测量技术更是激光应用技术领域的一个重要方面。位置检测器是一种光能/位置转换器,将位置信息转换成电学量输出,具备精度高,响应速度快,分辨率高和价格低的特点。MEMS振镜是一种基于MEMS技术制作而成的微小可驱动反射镜。与传统的光学扫描镜相比,具有重量轻、体积小、易于大...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。