一种分离设备及分离方法与流程技术资料下载

技术编号:12726038

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本发明涉及柔性器件制作工艺领域,尤其涉及一种分离设备及分离方法。背景技术在进行柔性OLED(有机发光二极管)器件的制作过程中,通常是先提供一刚性承载基板,然后在刚性承载基板上形成柔性器件,柔性器件通常包括柔性基板和设置在柔性基板上的OLED器件。当柔性器件制作完成后,需要将柔性器件从刚性承载基板上剥离。现有技术中,通常是采用激光照射的方式将柔性器件和刚性承载基板分离,在进行激光照射分离时,需要将柔性器件面向基台放置,为了避免柔性器件与基台直接接触,可以在柔性器件上覆盖一保护膜,保护膜的尺寸大于柔...
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