技术编号：12728352
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平板显示技术领域，尤其是涉及一种监控涂布显影设备灯箱内臭氧含量的装置及方法。背景技术薄膜晶体管(ThinfilmTransistor，TFT)技术是二十世纪九十年代发展起来的，采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术，是液晶(LiquidCrystal，LC)、无机和有机薄膜电致发光平板显示器的基础。TFT是在玻璃或塑料基板等非单晶片或晶片上通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必须的各种膜，通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路。薄膜场效应晶体管是指液晶显示器上的每一液晶像素点...
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